HAPC   先进制程控制系统

进阶模块

LithoVista是鸿之微针对先进光刻机Overlay先进技术的解决方案。

针对HAPC和CPE补偿技术,LithoVista可以在保证基本精度的情况下,大大降低量测的开销。从而可以将先进的补偿技术纳入动态反馈补偿中。它可以作为HAPC系统的进阶模块协同作用。达到更好的控制效果。

1-2002251U525126.jpg